TFT- LCD制造材料与技术
利用高纯度气体和化学品的产品组合,以及全球性的业务和增值技术,推进TFT - LCD平板市场的创新

我们可提供大量的增值技术,以帮助应对您所面临的具体成本和环境挑战。

现场制氟

我们首创利用分子氟(F2)取代具有导致全球变暖潜势的气体,如三氟化氮(NF3)和六氟化硫(SF6)现场氟发生器可提供最有效的清洗气体,减少超过50%的清洗时间和停机时间,提高高达10%的生产线产量。

制氮

我们的SPECTRA-N制氮设备 ,是TFT - LCD制造商在大量生产需求时最具成本效益的、提供超纯氮气的可靠途径。低于1ppb气体杂质水平,SPECTRA-N比传统制氮机的电耗低,但同时又具有极好的不满载能力,以满足产能爬升的要求。

全系产品

我们提供的气体和化学品品种齐全,支持所有的TFT - LCD平板制造工艺:

超纯大宗气体

现场气体发生器

气瓶和批量供应的电子特种气体

特殊和湿法工艺化学品。

TFT - LCD平板制造材料cture

大宗气体 电子专用气体

硅烷

三氟化氮

氟气(现场生产)

氧气 六氟化硫

氨气

二氧化碳

磷化氢混合物

具体的要求将取决于工艺和制造地区。

系统和专业服务

我们还提供范围广泛的专业服务,让您专注于核心业务、保持业务正常运行。包括从交钥匙工程设计和安装服务到终端的气体系统管理,其中包括:

大宗气体储存和分配系统

大宗特殊气体系统

气体箱和配气管

全面气体及化学品管理。